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玻璃抛光的常见机理

文章出处: 人气:: 发表时间:2017-03-24 18:29:40
纯机械作用学说(机械磨削理论):即抛光是研磨过程的继续,其本质是一致的,都是磨料对玻璃表面进行微小切削作用的结果。由于抛光粉的颗粒更细,其微小切削作用可以在分子范围内进行。由于抛光模具与工件表面相当吻合,抛光时切向力特别大,从而使玻璃表面凸凹不平的微痕结构被切除,形成光滑的表面。

流变作用学说(表面流动理论):玻璃表面受高压和高速的相对运动产生热量并使玻璃表面产生塑性流动,凸起的部分流向凹陷区域,使表面变得光滑。即摩擦热使玻璃表面产生塑性变形和流动,或者是热软化以致熔融而产生流动,抛光过程是玻璃表面分子重新分布而形成平整表面的过程

化学学说(化学作用理论):即抛光过程是水、抛光剂、抛光模材料和玻璃表面层间发生复杂化学作用的结果,最主要的是玻璃表面发生的水解作用

机械、物理化学学说:抛光过程是机械的、物理化学作用的综合过程,其中机械作用是基本的,化学作用是重要的,而流变现象是存在的。这些作用是同时出现,在抛光的不同阶段,不同作用占主导地位。这种理论现在被广泛应用于电子工业中的硅晶片及集成电路抛光上,即化学机械抛光(CMP)
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