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微孔抛光去毛刺厂家介绍纳米抛光机的工作原理

文章出处: 人气:: 发表时间:2018-09-19 09:26:54
微孔抛光去毛刺厂家介绍纳米抛光机的工作原理:
     
纳米级超精密双面抛光机的结构整个系统是由一个旋转的晶片夹持器、加载的上抛光盘、承载下抛光垫的工作台和抛光液供给装置4个部分组成。抛光机中4个电机分别控制上、下抛光盘,内齿圈和外齿圈。上抛光盘和下抛光盘通过电机带动,做反向旋转,微孔抛光去毛刺承放工件的行星轮由中心轮和外齿圈带动,做缓慢的旋转以改变切削方向。抛光过程中,旋转上抛光盘以一定的压力压在旋转的工件和抛光垫上,而由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的抛光液在工件与抛光垫之间流动,并产生化学反应,微孔抛光去毛刺工件表面形成的化学反应物由磨粒的机械作用去除,即在化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工。http://www.sprafm.com
 
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