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讲述模具内孔抛光去毛刺设备抛光盘的稳态运行控制

文章出处: 人气:: 发表时间:2018-09-27 09:47:26

抛光盘的运行由电器系统控制,装置电器控制设计手动和自动两种方式,手动控制是考虑到在加工过程中出现意外时能及时控制设备,同时方便调试。电器自动控制主要是对4个电机的控制。由于变频器可以通过改变供电电源的频率来改变电动机的转速,可以实现抛光加工时软启动,软停止,且内孔抛光加工不同阶段的无级变速,因此4个电机采用4个变频器来控制, 4个电机连接4个变频器,再通过D/A转换由1台工控机统一控制,通过工控机设定程序控制电机的转动。在工控机中拥有一套专家数据库,按照专家数据库提供的信息,对电机达到最优控制,完成对各种材料的抛光加工。同时在和4个电机相连的4根主轴上分别装有4个转速传感器,把主轴的转速信息反馈到工控机中,形成一个闭环控制,达到精密控制抛光盘以及行星轮匀速运动。

 控制系统作为纳米级超梢密双面内孔抛光机的配套产品,可广泛用于大规模集成电路的硅片、水晶振子基片、妮酸锉基片、担酸锉基片、计算机硬盘等基片的加工,必将在信息、机械、航空航天和光学等行业发挥重要作用。
   
随着微电子技术和信息技术的发展,各种光电子元件得到快速的发展并趋于高性能化。对光电子元件的关键零件—基片的材料的表面光洁度和平整度等加工精度提出了越来越高的要求,有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量面。内孔抛光加工作为晶片超平滑表面加工最有效的技术手段之一,受到了超精密加工研究领域和光电子材料生产加工企业的广泛关注与重视。http://www.sprafm.com

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